BTOZ

GaN for Power Semiconductor

소형화 및 고효율화로 다방면으로 활용도가 높은 GaN 전력반도체

전력반도체란 정보나 신호를 처리하고 저장하는 시스템 반도체나 메모리와 달리 전자기기에 입력되는 전력을 변환, 저장, 분배 및 제어하는 핵심부품을 이야기 합니다. 전력반도체는 컴퓨터, 가전, 자동차, 태양광, 스마트그리드등에 사용되는 인버터나 컨버터등에 주로 적용되며, 최근에는 모바일 기기의 증가와 전기자동차 보급과 맞물려 그 적용 영역이 확대되고 있습니다. 기존에는 실리콘 기반의 전력반도체 소자에서 전기적 특성이 뛰어난 SiC나 GaN 화합물 전력반도체가 점차 주목 받고 있습니다.

전력반도체 효율 비교

전력반도체 효율 비교 테이블 1
	Silicon	SiC	GaN
	대형/저효율	소형/고효율	초소형/초고효율
용량	1.0kW 컨버터	1kW 컨버터	1kW 컨버터
크기	12,800㎤	4,200㎤	1,400㎤
효율	92.5%	95%	98% (예상)

적용분야

BTOZ 보유 장비

	GaN 웨이퍼 생산	Epitaxy 공정	소자 공정	테스트 및 패키징 공정
주요장비	HVPE 장비	MOCVD 장비	Yellow Room (UV 차단) Contact Aligner (stepper) 유기용 wet Bench Lift-off 용 wet Bench Metal evaporator PECVD (Sin, SiO2) 화합물Dry etcher (ICP, RIE) SiN/SiO Dry Etcher (ICP, RIE) Step profiler 등	제조: - Dicing Machine - Molding Machine - Wire Bonding 기 등 검사: - Probe Station - Parameter Analyzer 등 개발: - 개발용 Molding Machine 및 개발용 측정기기 등

GaN 웨이퍼 생산

Epitaxy 공정

소자 공정

테스트 및 패키징 공정

주요장비

HVPE 장비

MOCVD 장비

Yellow Room (UV 차단)

Contact Aligner (stepper)

유기용 wet Bench

Lift-off 용 wet Bench

Metal evaporator

PECVD (Sin, SiO2)

화합물Dry etcher (ICP, RIE)

SiN/SiO Dry Etcher (ICP, RIE)

Step profiler 등

제조: - Dicing Machine
- Molding Machine
- Wire Bonding 기 등

검사: - Probe Station
- Parameter Analyzer 등

개발: - 개발용 Molding
Machine 및 개발용
측정기기 등

BTOZ의 전력반도체 기술

전력반도체 소자는 value chain에서 Wafer, Epitaxy, 소자 단계로 구분되며, BTOZ는 GaN 관련하여 Wafer에서 소자를 아우르는
전영역에서 설계 및 생산 기술을 가지고 있습니다.

GaN Wafer

HVPE 장비를 이용한 4” GaN 웨이퍼 양산

GaN Epi

GaN-on-Si 소자를 위한 에피 서비스

GaN-on-SiC 소자를 위한 에피 서비스

GaN-on-GaN 소자용 에피

GaN 소자

Edge-termination 기술을 이용한 항복 전압 향상

1.5KV급 수작형(GaN-on-GaN) PIN 소자 제작

GaN PIN 소자의 정특성/동특성 평가

GaN Power Semiconductor